南京大学电子科学与工程学院 余林蔚教授 9月6日学术报告

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南京大学电子科学与工程学院 余林蔚教授 9月6日学术报告

发布时间:2019-09-02访问量:10设置

报告人:余林蔚 (南京大学电子科学与工程学院)

报告题目:可拉伸晶硅宏量制备、三维集成及高性能薄膜电子器件
报告时间2:30 pm, September 6th (Friday)

报告地点:Conference Room B, BLDG 909

  

摘要Abstract:

具有优良半导体特性的柔性晶硅基底是实现各类可弯折、可拉伸电子和光电子器件的关键共性基础材料。为了满足大面积显示、电子皮肤、传感检测和物联网等新应用需求,柔性晶硅需要具有比传统晶硅衬底高出3~4个数量级的可拉伸机械特性,以及可调控的透光性,而且制备成本降低2~3个数量级。实现以上特性突破,需要建立全新的晶硅材料生长工艺和调控策略,在微纳尺度下实现其“精准形貌设计”和“高效规模集成”。长期依赖,硅基大规模集成电路技术是当今信息社会不断发展的核心技术支柱。面对日益涌现的柔性电子器件需求,“脆性”晶硅材料难以直接适应和应用。与此同时,晶硅的高迁移率、高稳定性和最为成熟的CMOS掺杂调控、表面钝化工艺又恰恰是高性能柔性器件所不可或缺的。报告中,我们将将介绍一种以非晶薄膜为前驱体的平面固--固纳米线(IPSLS)生长模式,展示如何在传统PECVD生长环境中通过简单台阶引导技术,实现晶硅纳米线阵列的大面积、高密度“定位、定向和定形”集成,以及高性能纳米线鳍形栅薄膜晶体管(TFT)器件和超高密度三维坡面集成新策略;通过平面纳米线的可编程弹性形貌设计方案,还可以赋予晶硅材料以超强的可拉伸特性,并制备出具有优异晶硅半导体特性的可拉伸、透明且自支撑的晶硅纳米线网格,打造具有“过硬性能的柔性电子器件”!

  

个人简介Biography:

余林蔚博士,南京大学教授/博导,国家“青年千人计划”,江苏省“双创个人及团队计划”及江苏省杰出青年基金。《半导体学报》和《Nanotechnology》编委。2001年获南京大学物理系学士学位;2001-02团中央第三届研究生青年志愿者支教团;2007获南京大学固体电子与微电子学博士学位;2007-09法国巴黎综合理工LPICM实验室博士后;2009法国国家188金宝搏手机版唯一官网中心(CNRS)终身职位研究员;2013入职南京大学电子科学与工程学院。主要研究方向:硅基纳米结构生长机理和物性调控;柔性可拉伸晶硅电子以及传感应用;径向结太阳能电池和光电能源器件。相关工作发表SCI论文120余篇,其中包括以第一或通讯作者在PRL, Nature Commun, Nano Letters, AM, AFM, ACS Nano, Nano Energy等国际一流学术期刊上发表多篇论文。相关工作多次被学术新闻媒体Nature Materials HighlightsSPIE NewsroomPhys.org报道。获得国际PCT发明专利2项和国内发明专利8项。


联系人:孙宝全教授


责任编辑:鹿鸣


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